氯化氢

电子产品制造上的气体

    我公司的电子特气广泛应用于半导体、微电子和关联的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜堆积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、维护气氛等等。

    什么是电子气体？  所谓电子气体，顾名思义就是电子产品制造上的气体，它主要是指半导体制造用气.按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。

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