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各种HCl气体的作用介绍
打印 发布时间:2014-2-10 21:14:36
氯化氢有很多的种类,那么分别有什么作用呢?我们一起来看一下。
1.化学级氯化氢产品生产装置于1993年投产,经山东省科委鉴定,主要用于医药中间体、农药及精细化学品制造业。
2.电子级(VLSI)氯化氢产品生产装置于2003年投产,经北京市科委鉴定,主要用于半导体器件生产中单晶硅片的气相抛光、外延基座腐蚀及硬质合金制造。
3.超纯氯化氢产品生产装置于2005年投产,目前处于试销阶段,主要用作标准物质和科学研究。
4.氯化氢产品的生产工艺为本公司专利技术,具有自主知识产权,填补了国内高纯氯化氢产品生产空白。
5.5.0N电子级(VLSI)氯化氢产品分别经国家标准物质研究中心和信息产业部专用材料质量监督检验中心抽样检验,纯度 大于99.999%,总杂质含量小于5ppm,产品性能指标与国 际品牌相当。
6.5.0N电子级(VLSI)氯化氢产品经国内外多家半导体重点企业连续大量在单晶硅片气相抛光和外延基座腐蚀工艺中广泛使用,制得的器件产品质量与国际知名品牌相当。
氯化氢产品参照SEMIC3.35-1101HCl标准,并执行国家标准GB/T24469-2009(电子级)和企业标准Q/ZWDL001-2006(化学级)。氯化氢产品采用HCl专用钢瓶包装,钢瓶符合国标GB5099-1994或DOT3AA标准,瓶阀为316L不锈钢隔膜式阀,接口为CGA330。本公司提供氯化氢专用配套设施、设备、阀门、减压器,并提供优质技术服务和售后服务。本公司具有完备的氯化氢专用钢瓶脱水设备和技术,为客户提供钢瓶处理和维修服务。
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